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淺談設備預測性保養(二)
2022-04-0661人查看
這篇文章我們用劃片機作為例子,繼續探討預測性保養的課題。
一般的大數據專家在實現預測性保養的課題時,都會提到要在龐大的數據中找到“因子”,然后才能幫客戶解決問題。在這里我們不探討復雜的課題,只解決最直接的問題,那就是如何預測什么時候要換刀片?
劃片機把貼在藍膜上的芯圓片進行切割,以便貼片機能夠取出芯片。
劃片機上有兩把刀,設備可以設定刀片的轉速。
劃片機在切割 x 條線以后,可以進行切割后的崩角量測 (CHIPPING, 也就是我們所謂的毛邊)。
崩角是主要的質量數據。
不同材質的芯圓片,需要用到不同的刀片類型。
每一把刀上都有一個編號。
刀片組是不固定的,工程師不一定每次都一起使用同樣的兩把刀。
有了這些數據,其實就可以找到一個數學專業的人員,建立一個模型去預測什么時候需要更換刀片,或者是說刀片是不是可以續繼使用。
但實際上在進行的時候,我們依然面對了很大的挑戰,主要原因如下:
設備的 SECS/GEM 無法告訴我們崩角 (chipping)量測數據是由哪一把刀造成的。除非我們綁定刀片組,否則數據是不準確的。
下一次我們會探討預測性保養相關的數學。敬請期待。